20年服务电子光学客户超200家,覆盖光学镜头、光纤通信、激光器件、半导体封装等细分领域
掌握18项专利技术,参与制定《电子工业洁净厂房设计规范》国家标准(GB 50472)
▶ ISO 3级(Class 1)洁净环境,满足EUV光刻机、电子束曝光机极限需求
▶ 层流风速0.45m/s±5%,气流组织CFD模拟优化,死区面积<0.3%
▶ 温控±0.1℃、湿度±1%RH,适应光学玻璃抛光、纳米压印等严苛工艺
▶ 微振动控制达VC-F等级(NIST标准),确保光刻机套刻精度≤1nm
▶ 防静电、耐腐蚀专用建材,通过UL认证,VOC释放量<0.05mg/m³
AI能效管理系统实时调控净化机组,能耗较传统车间降低40%
物联网平台预测性维护,关键设备故障率下降70%,年节省运维费超百万
行业痛点 | 昊锐净化创新解决方案 | 量化成果 |
纳米级微粒污染 | 三级过滤系统(HEPA+ULPA+化学过滤器) | 微粒≤0.1μm,浓度≤1颗/m³ |
温湿度波动影响镀膜 | 自适应恒温恒湿机组±0.1℃/±1%RH精准控制 | 膜层良率提升25% |
静电吸附粉尘损伤元件 | 全车间防静电EPOXY地板+离子风幕系统 | 静电电压≤50V,粉尘吸附降90% |
设备振动导致光路偏移 | 独立防微振地基+气弹簧隔振装置 | 振动频率≤1Hz,振幅≤2μm |
VOC气体腐蚀精密仪器 | 化学滤网+微环境负压排气系统 | VOC浓度<0.1ppm |
提供《电子光学车间洁净度升级效益预测报告》
设计-施工-认证(ISO/GMP/UL)一站式服务,工期缩短30%
24小时响应,关键设备延保至10年
华为、大疆、中芯国际等尖端科技企业间接供应商!